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第121章 你小子真厉害我也怀了双胞胎(第1页)

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“老公…你造的光刻机真的成功了?”

安若素全程懵逼,“光刻机造的晶片在哪儿?让我看看。”

闻言,正处於梦游状態的皇甫君噗嗤一笑,解释说:“傻孩子,光刻机只负责把电路图案刻在晶圆硅片上,而一片12寸晶圆可以切割几百颗晶片小晶圆,光刻只是造晶片的其中一环,並不能直接造出晶片。”

“噢…这样啊,那晶圆硅片呢?让我们看看被光刻机刻的图案是什么样的?成功与否,总得有个依据吧?”

“就算给你看,你也什么都看不到,因为光刻工艺是纳米级的,1纳米等於十亿分之一米,给你打个比喻吧,一根头髮丝直径约为6万-9万纳米,晶片线路比头髮丝还要细上几万倍,远远小於人眼的分辨极限。”

皇甫君补充道:“就算是普通光学显微镜也看不到,得用电子显微镜才能观测。”

“明白了,那就用电子显微镜看看嘛。”

安若素说出了妹妹和市领导、校领导的心声,除了研发团队,其他人都是一知半解。

毕竟光刻机的工作过程太抽象,不能直观地感受到產品效果,所以除研发团队外,大家反应平平,都有点木木的。

其实皇甫君也想看看,毕竟她从未见过1nm晶圆工艺,別说1nm了,2nm、3nm都没见过,於是看向女婿:“苏总,要不让大家开开眼?”

“没问题~”

苏云杉示意工程师取出12寸晶圆。

工程师小心翼翼地拿出一片圆形硅片,捧在无尘手套的手心上,供眾人观看。

皇甫君、安若素姐妹、市领导、校领导、研发团队凑近围观,研发团队再次发出阵阵惊呼,相互拥抱庆祝。

晶圆直径30厘米,厚度不到1毫米,像一张薄薄的大光碟,在光的反射下呈七彩虹顏色,整片晶圆整齐排列著几百个小正方形,每个格子就是一颗晶片晶圆。

“哇——”

安无恙两眼放光:“好漂亮——”

安若素俯身近距离研究,“嗯…確实什么都看不到……”

苏云杉示意工程师用电子显微镜看晶圆。

12寸晶圆太大,放不进设备,技术人员先从整片晶圆切下一小块样品,经过清洁和导电处理,固定在样品台,放入sem扫描电子显微镜,关闭舱门,抽真空。

然后发射电子束,扫描晶圆表面,接著转换成图像显示在屏幕上。

当放大到5万倍时,才能清晰地看到整体线路网络,呈纵向横向分布。

“喔喔喔——”

安若素指著屏幕激动道:“看到了看到了!

一条条线路纵横交错,像是一座微型城市的大路小道!”

当放大到15万倍时,单条1nm线路清晰可辨,能看到一根根独立线条,以及线与线之间的空隙,可直观判断线条是否笔直、有无粘连、断线、畸变,也是產线检测1nm工艺图形良率的核心倍率。

“我的妈呀——”

安无恙瞠目结舌:“太神奇了吧——,指甲盖大小的晶片晶圆…居然能刻出这么多、这么复杂的电路图…怪不得老妈以前说造晶片难如登天呢……”

皇甫君呆若木鸡地盯著显示器,亲眼看到放大后的晶圆,终於可以確定——1nm光刻机成功了!

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