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刘峰和陈宝山负责后勤和“士气”
。
从深圳空运来提神的咖啡和功能饮料(华晶的老师傅们大多喝不惯,还是更爱浓茶);联系无锡当地的饭店,保证每天有热乎可口的饭菜送到;在办公室角落支起几张行军床,实在撑不住的人可以轮流眯一会儿。
陆厂长也几乎住在了厂里,协调产线准备,调集最好的物料,亲自监督关键设备的维护和校准。
这条沉寂多年的老线,因为一个看似不可能的任务,重新绷紧了神经。
一个月零十天,历经无数次的修改、仿真、验证、再修改,最终版图终于完成。
当最后一道drc检查通过,erc(电气规则检查)没有报出致命错误时,整个联合设计中心爆发出短暂的、压抑的欢呼,随即是更深的疲惫和忐忑——真正的考验,在流片。
gdsii数据被小心地拷贝到老式的磁带上(华晶的产线还部分依赖这种介质),送入生产线。
光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、金属化……每一个环节,周工都带着李援朝和小张等人,穿着不合体的净化服,守在车间外,透过观察窗紧盯着里面的操作。
老师傅们手法熟练却凝重,每一个参数设置、每一次对准,都反复确认。
刘峰和陈宝山、陆厂长则守在厂部的临时指挥间,看着墙上手绘的进度表,听着对讲机里传来的、夹杂着巨大机器噪音的简短汇报,度秒如年。
流片过程并非一帆风顺。
光刻机老旧,套刻精度出现波动,紧急调整;某一炉扩散的片子参数异常,整批报废,重新投片……每一次意外都让所有人的心提到嗓子眼。
陆厂长急得嘴角起泡,周工几天几夜没合眼,李援朝的头发以肉眼可见的速度变白。
但没有人说要放弃。
华晶的老师傅们拿出了看家本领,用各种“土办法”
补救和调整;深圳的工程师也竭尽全力,配合分析数据,提出可能的软件补偿方案。
终于,在距离两个月期限只剩最后一周的时候,第一批晶圆完成所有前端工艺,下线,送往封装厂。
封装是另一个难关。
华晶的合作封装厂同样老旧,工艺粗糙。
为了确保可靠性,陆厂长亲自押送晶圆,并派了最有经验的老师傅跟线,严格控制键合压力、温度和时间。
七天,在焦灼的等待中缓慢流逝。
最后一天下午,封装厂传来消息:样片完成,正在做最后的测试筛选。
晚上八点,陆厂长、周工、李援朝、刘峰、陈宝山,以及所有参与项目的人,全都挤在华晶那间简陋的测试实验室里。
空气仿佛凝固了。
操作员将第一颗封装好的“护身符”
芯片,小心翼翼地上到测试座。
接通电源。
示波器的屏幕亮起,杂乱无章的波形跳动。
测试程序开始运行。
一瞬间,屏幕上代表加密算法正确运行的特定波形标志,稳定地出现了!
“点亮了!”
操作员声音颤抖。
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